上海深城环保设备工程有限公司 创领技术,优治废气

400-999-8202

半导体废气治理

半导体废气治理

废气组分复杂:废气中酸性、碱性和剧毒废气成分并存,制程工艺要求废气排放压力平稳,不得影响生产条件。因此单一废气处理工艺难以胜任;

废气风量大、浓度低,治理运行成本高:生产工艺产生的废气风量大、浓度低,如果用RTO氧化,则能耗高、运行成本高;如果使用浓缩技术(如沸石转轮),则浓缩倍数受限(通常15-25倍),浓缩后VOCs浓度还是达不到RTO能自维持所需的浓度,处理能效比低;

全国统一询价热线

400-999-8202
立即联系我们

定制方案与工艺

针对上述痛点,我司推行 “洗涤+过滤+普立净®分子筛矩阵吸附浓缩+高效电热RTO氧化”的最优技术路线。
  • 1

    预处理工艺

    针对不同工艺段来的的废气组分采取不同的处理工艺,对于无机的酸性气体和部分剧毒废气,可以通过多级化学洗涤去除。厂务汇总处理的废气,先过滤微小粉尘,为针对VOCs的深度净化做准备;
  • 2

    核心净化单元

    预处理后的废气进入我司独创的 “模块化分子筛吸附矩阵”,采用改性分子筛固定床吸附模块,确保废气中的VOCs分子能被有效吸附,且不受废气浓度波动影响。在分子筛吸附饱和后进行高温脱附。采用多吸附模块矩阵的方案,吸附时模块并列工作,脱附时模块逐个贯序进行。单个模块所需脱附风量小,因此与之匹配的电热RTO也小,采用热回收设计,大幅节省能耗,运行费用低。
  • 3

    终极氧化与节能

    浓缩后经过脱附再生出来的高浓度废气进入高效电热蓄热式氧化炉(E-RTO),在760℃以上被彻底分解为CO2和H2O,热能回收率>95%,操作安全,且RTO内部热力场分布均匀,不会因燃烧器局部高温导致氮气氧化成NOx。电热设计特别适合无天然气管道或寻求低碳解决方案的客户,结合绿电可实现近零碳排。

核心优势

您的行业废气,我们精准破解
服务核心优势
精准吸附
采用复合的分子筛配方,通过适配性研究,可以精准吸附多组分废气分子,治理效果不担忧;
抑平废气进气的波动
独特的模块化的多固定床设计,拥有几十个装填多种分子筛组合的类固定床模块,吸附容量大。几十个类固定床模块在脱附阶段只有两个模块处于脱附阶段。其他的还是吸附模式,所以也不会带来很大的抽风的压力波动,此工艺可以有效抑平进气浓度和压力波动,保障系统常年稳定达标运行;
高效节能
针对性的分子筛组合,通过高吸附率实现对VOCs的高吸附容量以及通过类固定床的分子筛装填量大(与转轮相比),可增加浓缩倍率,实现废气在RTO中自持燃烧,节省了RTO的能耗,相比传统大风量RTO,电耗与运行费用综合降低超过50%。
半导体废气治理
全生命周期服务:提供从系统设计、安装调试、性能验证到长期维护保养的全生命周期服务,成为客户可靠的长期合作伙伴。

四大核心企业优势

二十三年专注,铸就技术、认证、研发与经验的全面硬实力
  • 原创技术 | 国际领先
  • 原创技术 | 国际领先
    我们拥有国内外首创的“普立净®分子筛+电热RTO”原创核心技术体系,荣获37项国内外发明专利,被院士专家组评定为“整体技术达到国际先进水平,两大核心工艺问鼎国际领先水平”,从根源上解决了传统工艺无法处理的高沸点、复杂组分VOCs的行业难题。
  • 权威认证 | 公信力强
  • 权威认证 | 公信力强
    公司不仅是高新技术企业、上海市专精特新企业,其技术更入选中华环保联合会《恶臭异味减污降碳协同创新应用成果推荐目录》,并获得上海科学技术情报研究所的国际先进水平查新报告,技术公信力与可靠性有目共睹。
  • 研发驱动 | 产学研深度融合
  • 研发驱动 | 产学研深度融合
    我们与复旦大学等顶尖高校结成紧密的产学研合作,由环境科学领域专家担任首席科学家,确保技术持续创新与迭代,能够应对未来更复杂的治理挑战,为客户提供前瞻性的解决方案。
  • 经验丰富 | 案例成熟可靠
  • 经验丰富 | 案例成熟可靠
    公司成立于2002年,拥有23年行业深耕经验,已完成数百个废气治理项目,服务了包括东风日产、昆仑轮胎在内的众多知名企业,成熟可靠的案例确保了您项目的一次性成功和长期稳定运行。